启动螺杆泵，打开低温再生阀，待低温泵泵腔压力低于3000pa，启动罗茨泵
低温泵泵腔压力低于10pa（到10pa需要20分钟～1个小时，之后在稳一会），低温泵上电，过一分钟后，关闭低温泵再生阀，启动低温泵
确保低温泵启动正常，低温泵温度开始下降，听到噗呲噗呲的声音
关闭罗茨泵，打开粗抽阀，当真空器显示压力低于3000pa时（1个小时）启动罗茨泵
真空罐罐体压力小于10pa（罗茨泵开启15分钟）时，打开分子泵前级阀，开启分子泵
分子泵完全启动（分子泵启动12分钟后），完全启动状态（绿灯常亮）关闭粗抽阀，打开预抽阀
低温泵温度低于10K（低温泵打开2.5小时）， 打开主阀
