导图社区 相差显微镜
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相差显微镜
原理
光的干涉
光程差
由样品造成的光程差
由干涉仪件的厚度引起的光程差
相位差
反射和折射的相位差
透射的相位差
干涉图样
暗纹与明纹
干涉环
光程差相等时环的半径与频率的关系
衍射的影响
衍射极限
高斯点扩散函数
结构和部件
光学系统
准直系统
镜头组
光阑
准直孔
源光系统
光源
准直光源
干涉仪
反射镜系统
分束镜系统
输出光路
探测系统
探头
探头支撑结构
探测信号电路
工作原理
光路
入射光路径
干涉光路径
反射路径
透射路径
出射光路径
干涉图样的生成
光源和准直光束的作用
分束镜的作用
干涉环的形成
应用领域
材料研究
表面形貌观察
薄膜的厚度测量
晶体缺陷的观察
结构分析
晶格的测定
材料的力学性质研究
生物医学
细胞和组织的观察
细胞器官结构的研究
细胞分裂过程的观察
蛋白质形态和分子结构的研究
分子间力的研究
蛋白质构象的表征
硬盘表面检测
磁头间隙的测量
磁盘表面的腐蚀和磨损检测
半导体芯片检测
缺陷和杂质检测
晶圆平整度和内部结构的测量
粒子物理学
粒子径迹的观察和测量
粒子交互作用的研究
优缺点
优点
高分辨率
对透明和不透明样本都适用
非接触式观察
缺点
对样品表面平整度要求高
非稳定性源造成误差
高要求的仪器校准和调试