相差显微镜

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相差显微镜

• 原理
  • 光的干涉
    • 光程差
      • 由样品造成的光程差
      • 由干涉仪件的厚度引起的光程差
  • 相位差
    • 反射和折射的相位差
    • 透射的相位差
  • 干涉图样
    • 暗纹与明纹
    • 干涉环
      • 光程差相等时环的半径与频率的关系
  • 衍射的影响
    • 衍射极限
    • 高斯点扩散函数
• 结构和部件
  • 光学系统
    • 准直系统
      • 镜头组
      • 光阑
      • 准直孔
    • 源光系统
      • 光源
      • 准直光源
  • 干涉仪
    • 反射镜系统
    • 分束镜系统
    • 输出光路
  • 探测系统
    • 探头
    • 探头支撑结构
    • 探测信号电路
• 工作原理
  • 光路
    • 入射光路径
    • 干涉光路径
      • 反射路径
      • 透射路径
    • 出射光路径
  • 干涉图样的生成
    • 光源和准直光束的作用
    • 分束镜的作用
    • 干涉环的形成
• 应用领域
  • 材料研究
    • 表面形貌观察
      • 薄膜的厚度测量
      • 晶体缺陷的观察
    • 结构分析
      • 晶格的测定
      • 材料的力学性质研究
  • 生物医学
    • 细胞和组织的观察
      • 细胞器官结构的研究
      • 细胞分裂过程的观察
    • 蛋白质形态和分子结构的研究
      • 分子间力的研究
      • 蛋白质构象的表征
  • 硬盘表面检测
    • 磁头间隙的测量
    • 磁盘表面的腐蚀和磨损检测
  • 半导体芯片检测
    • 缺陷和杂质检测
    • 晶圆平整度和内部结构的测量
  • 粒子物理学
    • 粒子径迹的观察和测量
    • 粒子交互作用的研究
• 优缺点
  • 优点
    • 高分辨率
    • 对透明和不透明样本都适用
    • 非接触式观察
  • 缺点
    • 对样品表面平整度要求高
    • 非稳定性源造成误差
    • 高要求的仪器校准和调试