2000年：张汝京博士创立，。当WSMC后来被台积电（TSMC）收购
时，张移居上海并创立了中芯国际。
2002年：前3个晶圆厂投产，第一年实现营收，总计创造了5000W美元的收入，第二年增加到3.66亿美元，随后又增加到10亿美元
2003年：中芯国际迅速扩展到其他城市：北京，成都，武汉，深圳等，其中规模比较小的天津工厂拥有一座从摩托罗拉收购的遗留晶圆房和一座高层公寓楼，还实施了虚拟晶圆房战略，与地方政府合作，使中芯国际迅速成为行业的重要参与者，政府将资助中芯国际管理的晶圆厂，
2004年：中芯国际开始与成都企业合作在成都建设晶圆厂和基地
2006年：中芯国际在武汉效仿类似模式，与武汉市政府达成协议，成立武汉新芯半导体制造有限公司
2008 年 1 月，在深圳市政府的支持（但非所有权）下，中芯国际全资子公司在深圳开始建设一座晶圆厂。
2010 年，成都市将 Cension 晶圆厂出售给德州仪器 (TI)，后者选择购买该晶圆厂
2003年至2009年：台积电先后诉讼给中芯国际造成超过10亿美元的直接间接成本，法律问题促使领导换届，2009年11月张退休，王大卫 (David Wang) 接任了职务
2011年6月，中芯国际董事长蒋尚舟去世，造成高层暂时真空。中芯国际第一大股东大唐电信在其他7大股东的支持下，于7月份将王毅赶下台，但无法指定他的继任者，该位置空缺
中芯国际在中国有晶圆厂的城市：上海，北京，武汉，天津，深圳
