半导体设备汇总

展示了一个关于光刻机制造公司的组织结构图及其相关公司的信息。光刻机是半导体制造中的关键设备，其制造涉及多家公司和复杂的供应链。草草整理的，有需要可以参考。

半导体设备

• 光刻机
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    • 张江高科
      • 子公司控股的上海微电子是国内领先的光刻机制造商
    • 北方华创
      • 北方华创是由七星电子和北方微电子战略重组而来。七星电子整合了原属营700、706、707、718、797、798五大国有优质电子厂；而北方微电子由北京电控联合清华、北大、中科院微电子所、中科院光电研究所共同出资设立。
  • 光刻机整机
    • 上海电气
      • 母公司为上海微电子第一大股东
    • 奥普光电
      • 长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机
  • 光源领域
    • 波长光电
      • 光刻机平行光源系统
    • 茂莱光学
      • 精密光学器件已应用于国产光刻机
    • 福晶科技
      • 全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商
  • 光学器件
    • 腾景科技 ：多波段合分束器已进入微电子供应链；
    • 苏大维格 ：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品；
    • 炬光科技 ：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器；
    • 京华激光 ：控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强；
    • 晶方科技 ：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。
  • 洁净设备
    • 蓝英装备 ：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户；
    • 美埃科技 ：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单；
    • 国林科技 ：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。
  • 温控
    • 海立股份 ：微电子装备集团的系统级合作商
    • 同飞股份 ：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制
  • 物镜
    • 赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。
  • 控制器
    • 电科数字：子公司可供货光刻机控制器。
  • 结构件
    • 金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理；子公司是上海微电子供应商。
  • 精密工件台领域
    • 永新光学
    • 华亚智能
      • 主营产品包括精密金属制造装备、精密电子制造装备等，且产品已被广泛应用于光伏、LED、3C制造、航天航空、通信、生物医疗等领域。
    • 联创光电
  • 光学加工与监测系统领域
    • 联合光电
    • 蓝英装备
• 中微公司（刻蚀、薄膜沉积等） 北方华创（薄膜沉积、刻蚀、清洗设备、氧化炉等） 中科飞测、精测电子（前道检测量测设备） 拓荆科技（薄膜沉积、键合设备等） 芯源微（涂胶显影、清洗设备等）
• 制成
  • 65nm
    • 基本可以满足军工芯片生产
  • 28nm
    • 基本满足所有工业和家电类芯片生产
  • 14nm
    • 基本可以满足可穿戴设备和汽车芯片生产
  • 7nm
    • 主要满足手机，电脑和AI芯片的需求