首线二次配进度汇总

首线二次配进度汇总的思维导图，分享了湿法、高温、ALD、镀膜、丝网的知识，喜欢的可以点个赞收藏一下哟~

首线二次配进度汇总

• 湿法
  • 自动化--制绒/BSG/PSG
    • 电
      • 已供应
    • CDA
      • 已供应
  • 主机台--制绒/BSG/碱抛/PSG/RCA
    • 电
      • 制绒/BSG/PSG已供应,碱抛/RCA未供应
    • CDA
      • 已供应
    • N2
      • 已供应
    • 纯水
      • 制绒已供应/其余管路已完成
    • 排风
      • 管路已完成
    • 排废
      • 制绒具备，BSG/PSG完成，碱抛/RCA未完成
    • CDS
      • 制绒管路已下，其余未完成
• 高温
  • 自动化--一硼/SE/二硼/退火
    • 电
      • 已供应
    • CDA
      • 已供应
  • 主机台--一硼/二硼/退火
    • PCW
      • 未供应
    • 电
      • 一硼/退火已供电。二硼未供电
    • CDA/N2
      • 已供应
    • 热排
      • 未供应
    • 酸排
      • 未供应
• ALD
  • 自动化
    • CDA
      • 已供应
    • 电
      • 已供应
  • 主机台
    • 电
      • 桥架已下，无电缆下线
    • N2
      • 已供应
    • PCW
      • 未开始
    • 硅烷排/热排
      • 未开始
    • 特气管路
      • 未开始
    • DI
      • 管路已做
  • 尾气处理器
    • 电
      • 未开始
    • PCW/纯水
      • 未开始
    • 硅烷排
      • 管路已做
    • CDA/N2
      • 已供应
    • 子主题
      • 未开始
• 镀膜
  • 自动化--POLY/正背膜
    • 电
      • 已供应
    • CDA
      • 已供应
  • 主机台--POLY/正背膜
    • PCW
      • poly未开孔，正背膜已下管
    • 电
      • POLY未做，正背膜已供应
    • 特气
      • 管路已做
    • 热排
      • 管路已做
    • 泵
      • 未开始
  • POLY尾气处理器
    • 电
      • 未接线
    • CDA/N2
      • 管路已做
    • PCW
      • 未开始
• 丝网
  • 电
    • 已供应
  • CDA
    • 已供应
  • RO
    • 未开始