扫描电子显微镜

扫描电子显微镜 的基本构造，扫描电镜主要由3个基本部分构成:电子光学系统 (镜筒) 、信号收集和图像显示系统和真空控制系统。

扫描电子显微镜

• 基本构造
  • 扫描电镜主要由3个基本部分构成:电子光学系统 (镜筒) 、信号收集和图像显示系统和真空控制系统。
• 扫描电镜的工作原理
  • 用一束极细的电子束扫描样品, 在样品表面激发出次级电子, 次级电子的多少与电子束入射角 有关, 也就是说与样品的表面结构有关, 次级电子由探测体收集, 并在那里被闪烁器转变为光信号, 再经光电倍增管和放大 器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度, 显示出与电子束同步的扫描图像。
• 扫描电镜的优缺点
  • 扫描电镜是一种高分辨率的电镜, 可以直接观察样品表面, 图像富有立体感, 真实感。而且它除了能显示一般试样表 面的形貌外, 还能将试样微区范围内的化学元素与光、电、磁等性质的差异以二维图像形式显示出来, 并可用照相方式拍 摄图像。另外, 扫描电镜分辨本领高, 观察试样的景深大, 可直接观察试样表面起伏较大的粗糙结构。
• 扫描电镜的主要性能指标
  • 扫描电镜的主要性能指标有:分辨率、放大倍数和景深。其中, 分辨率是指清晰地分开两个物体之间距离的能力。扫 描电镜的放大倍数是指电子束在荧光屏上最大扫描距离和镜筒中电子束在试样上最大扫描距离的比值。景深是指图像清 晰度保持不变的情况下样品平面沿光轴方向前后可移动的距离。景深与放大倍数密切相关, 放大倍数越大, 景深越小。