薄膜衣工艺和分类

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薄膜衣工艺和分类

• 物理蒸发
  • 热蒸发
    • 阻挡蒸发法
      • 电子束蒸发
      • 电阻加热蒸发
    • 高频感应蒸发
    • 弧光蒸发
  • 电子束蒸发
  • 光束蒸发
• 化学气相沉积
  • 低压化学气相沉积（LPCVD）
  • 高压化学气相沉积（HPCVD）
• 磁控溅射
  • 直流磁控溅射
  • 射频磁控溅射
  • 谐振射频磁控溅射
• 电化学沉积
  • 电镀
  • 阳极氧化
  • 电解沉积
• 溶胶-凝胶法
  • 喷雾凝胶法
  • 浸渍法
  • 柔性模版法
• 薄膜衣分类
  • 单层薄膜
    • 金属薄膜
      • 铬
      • 铬合金
      • 铝
      • 铝合金
      • 铬铝合金
    • 陶瓷薄膜
      • 氧化物薄膜
      • 氮化物薄膜
      • 碳化物薄膜
      • 硫化物薄膜
  • 多层薄膜
    • 金属-金属
    • 金属-氧化物
    • 金属-氮化物
    • 金属-碳化物
    • 金属-硫化物
  • 复合薄膜
    • 硬质薄膜
    • 软质薄膜
    • 弹性薄膜
    • 光学薄膜
    • 电磁屏蔽薄膜