①背散射电子:本质是入射电子,是被原子核反弹回来的一部分入射电子,分为弹性和非弹性背散射电子。非弹性背散射电子方向和能量均改变
②二次电子:本质是样品的核外电子,是被入射电子轰击出来并且离开样品表面的的电子
③透射电子:本质是入射电子,是由于样品很薄,入射电子穿过样品而产生的。
④特征x射线:是外层电子向内层跃迁时候,多余的能量以x射线的形式释放出来。外层电子能量>内层电子。(内层电子离开是因为被入射电子激发或者电离了)
⑤俄歇电子:本质是样品原子里空位层的电子,是外层电子向内层电子跃迁时候,多余的能量不以x射线的形式释放,而是用于吧空位层的另一个电子发射出去,那么这个电子就是ex电子。
⑥吸收电子:本质是入射电子。是入射电子经过多次非弹性散射,能量损失完,就被样品吸收了。