扫描电子显微分析

扫描电子显微分析思维导图，根据上课ppt和自己的笔记整理，随时可以补充。

扫描电子显微分析

• 组成结构
  • 电子光学系统
    • 由电子枪、聚光镜、物镜、光栏、消像散器和样品室
  • 扫描系统
    • 组成：
      • 扫描信号发生器
      • 扫描放大控制器
      • 扫描偏转线圈
    • 作用
      • 子主题
  • 信号探测放大系统
  • 图像显示记录系统
  • 真空系统
    • 作用是为保证电子光学系统正常工作
  • 电源系统
• 工作原理
  • 特点
    • (1) 制样方法简单
    • (2) 景深大,图像立体感强，易于识别和解释。
    • (3) 放大倍数变化范围大，可从15-数十万倍
    • (4) 具有相当高的分辨率
• 性能指标
  • 扫描电子显微镜的分辨率是二次电子像的分辨率
    • 取决因素
      • 入射电子束斑的半径
      • 成像的信号类型
• 两种成像模式
  • 二次电子像
    • 主要用于表面形貌的观察
    • 特点
      • 分辨率高
      • 无明显的阴影效应
      • 景深大，立体感强
      • 试样中逸出的电子能量较小
  • 背散射电子像
    • 既能观察形貌又能反应出成分变化
    • 特点
      • 分辨率低
      • 电子束中的电子能量较高
• 分析样品的制备方法
  • 试样要求
    • 块状或粉末状固体
    • 真空中能保持稳定，挥发分少
    • 不含水分
    • 表面没有受到污染
    • 新的断口
    • 需要进行适当的侵蚀，使某些结构细节暴露出来
    • 去磁