第八章_扫描电子显微镜-材料分析技术

适合一般院校材料分析技术课程的SEM基础的思维导图，将知识点进行了归纳和整理，便于学习者理解和记忆。

第八章 扫描电子显微镜

• 概述
  • 技术历史
  • 发展方向
  • 重要性
  • 与TEM的对比
• 高能电子束与物质相互作用
  • 对比参照X射线与物质相互作用
  • SE
  • BSE
  • 特征
  • X
  • Au
  • SEM主要信息源
  • others
• SEM构造
  • 照明光源
    • 电子枪
      • 三级静电透镜
      • 钨灯丝
      • LaB6
      • 场发射
        • 热场
        • 冷场
    • 聚光镜
  • 成像系统
    • 物镜系统
    • 扫描线圈
    • 样品室
    • 信息采集探头
    • SEM特色
  • 图像记录及显示系统
  • 电子光学系统
  • 真空系统
  • 高压系统
  • 其他附属系统
• SEM原理
  • SEM像是虚假的像
  • SEM像解释
    • SE像
      • 立体感强
    • BSE像
      • 形貌相
      • 成分像
  • 性能参数
    • 分辨率
      • 束斑尺寸
      • 扩展效应
        • 电子能量
        • 样品Z
        • 液滴模型
      • 信号种类
    • 放大倍数
    • 景深
• SEM样品制备
  • 制备要求
    • 干净
    • 导电
    • 大小合适
    • 观察结构不被损坏
    • 其他
  • 常用方法
• SEM基本实验操作
  • 基本工作模式
    • 选区扫描
  • 注意事项
• SEM主要附件
  • EDS
  • WDS
  • EP中的主要部件
• 应用