导图社区 大学半导体物理 第二章 半导体中杂质和缺陷能级
这是学生制作的半导体物理思维导图,主要是对半导体中杂质和缺陷能级相关知识的整理,包括:硅、诸晶体中的杂质能级;缺陷、位错能级;-V族化合物中的杂质能级。
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第二章 半导体中杂质和缺陷能级
硅、锗晶体中的杂质能级
替位式杂质、间隙式杂质
替位式杂质:杂质原子取代晶格原子而位于晶格点处
要求:杂质原子与被替代晶格原子大小相近、价电子壳层结构相近
间隙式杂质:杂质原子位于晶格原子间的间隙位置
要求:间隙式杂质比较小
杂质原子进入半导体以后,只可能以这两种方式存在。
施主杂质、施主能级
施主杂质:在半导体中电离释放电子而产生导电电子并形成正电中心的杂质
施主能级:被施主杂志束缚的电子的能量状态
施主杂质在禁带中产生
施主电离能:
n型半导体:依靠电子导电的半导体
受主杂质、受主能级
受主杂质:在半导体中能够接受电子而产生导电空穴并形成负电中心的杂质
受主能级:被受主杂质束缚的空穴的能量状态
受主杂质在禁带中产生
受主电离能:
p型半导体:依靠空穴导电的半导体
浅能级杂志电离能的简单计算
施主杂质电离能:
受主杂质电离能:
杂质的基态轨道半径:
杂质的补偿作用
分别表示施主杂质浓度和受主杂质浓度;n表示导带中电子浓度;p表示价带中空穴浓度
探究同时存在施主和受主杂质半导体的p,n状态
ND>>NA时,n=ND-NA≈ND,半导体是n型的。
NA>>ND时,n=NA-ND≈NA,半导体是p型的。
ND≈NA时,杂质虽然多,但不能向导带和价带提供电子和空穴,这种现象称为杂质的高度补偿
杂质的补偿作用的应用:扩散及离子注入改变半导体某一区域的导电类型,例:平面工艺pnp晶体管的制作。
深能级杂质
施主能级距离导带底较远,受主能级距离价带顶较远,这种能级称为深能级,相应的杂质称为深能级杂质。
这些深能级杂质能够产生多次电离,每一次电离相应地有一个能级
有的杂质既能引入施主能级,又能引入受主能级
深能级杂质一般情况下含量极少,而且能级较深,对半导体中的导电电子浓度、导电空穴浓度和导电类型的影响没有浅能级杂质显著,但对于载流子的复合作用比浅能级杂质强,故这些杂质也称为复合中心。
缺陷、位错能级
缺陷种类
点缺陷:位错,间隙原子
线缺陷:位错
面缺陷:层错
点缺陷
元素半导体Si、Ge中的点缺陷
由于原子需要较大的能量才能进入间隙位置,以及它迁移时激活能很小,所以晶体中空穴比间隙原子多得多,是常见的点缺陷。
间隙原子和空位:一定温度下,晶格原子在平衡位置附近作振动,部分原子获得能量挤入晶格原子间的间隙,形成间隙原子,留下的位置叫空位。
弗仑克耳缺陷:间隙原子和空位成对出现
肖特基缺陷:只有空位无间隙原子
间隙原子和空位不断产生并复合,达到平衡,这两种缺陷是由温度所决定的——热缺陷
Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体中的点缺陷
热缺陷
由于成份偏离正常的化学比,也可形成点缺陷
利用成分偏离可以控制半导体的导电类型
替位原子(如二元化合物AB)
A取代B:A多,受主,接受电子倾向
B取代A:B多,施主,多余价电子释放
位错
对半导体材料和器件的性能影响显著
原子存在不成对电子,成为不饱和键
该键可以获得电子,形成负电中心,起受主作用,相当于一串受主
该键可以失去电子,形成正电中心,起施主作用,相当于一串施主
晶格畸变使得半导体禁带宽度发生变化
当晶体有体积形变时,导带底Ec和价带顶Ev发生变化
缺陷能级
Ⅲ-Ⅴ族化合物中的杂质能级
以砷化镓为例
Ⅱ族元素可替代Ⅲ族元素镓成为受主杂质,Ⅵ族元素可代替Ⅴ族元素成为施主杂质
Ⅳ族元素如硅、锗,既可以代替镓成为施主杂质,也可以代替砷成为受主杂质。这种杂质称为双性杂质。
Ⅲ族杂质和Ⅴ族杂质掺入砷化镓时,它们将取代同族原子而形成既非施主也非受主的中性杂质,在禁带中不引入能级。
如砷化镓中:若Ga偏多,形成As空位;若As偏多,形成Ga空位。
空位倾向于接受电子,起受主作用;间隙原子有四个可失去的电子,表现为施主作用。
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